电子气体 惰性稀有气体

Electronic gas—Noble gas

GB/T 46173-2025推荐性国家标准

即将实施

GB/T 46173-2025 相似标准 第8页

更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态实施日期相似标准
GB/T 31987-2026电子气体 锗烷即将实施2026-11-01找相似
GB/T 31986-2026电子气体 八氟丙烷即将实施2026-11-01找相似
GB/T 31058-2026电子气体 四氟化硅即将实施2026-11-01找相似
GB/T 14602-2014电子工业用气体 氯化氢废止2015-07-01找相似
GB/T 18994-2014电子工业用气体 高纯氯废止2015-07-01找相似
GB/T 14603-2009电子工业用气体 三氟化硼废止2010-05-01找相似
GB/T 14604-2009电子工业用气体 氧废止2010-05-01找相似
GB/T 16942-2009电子工业用气体 氢废止2010-05-01找相似
GB/T 16943-2009电子工业用气体 氦废止2010-05-01找相似
GB/T 16944-2009电子工业用气体 氮废止2010-05-01找相似
GB/T 16945-2009电子工业用气体 氩废止2010-05-01找相似
SJ/T 11517-2015电子工业用气体 一氧化碳废止2015-10-01找相似
GB/T 21287-2007电子工业用气体 三氟化氮废止2008-07-01找相似
GB/T 5170.11-2008电工电子产品环境试验设备检验方法 腐蚀气体试验设备废止2009-03-01找相似
GB/T 15909-2009电子工业用气体 硅烷(SiH4)废止2010-05-01找相似
GB/T 14851-2009电子工业用气体 磷化氢废止2010-05-01找相似
GB/T 14601-2009电子工业用气体 氨废止2010-05-01找相似
GB/T 14600-2009电子工业用气体 氧化亚氮废止2010-05-01找相似