微机电系统(MEMS)技术 基于光学干涉的MEMS微结构面内长度测量方法

Micro-electromechanical system technology—Measuring method for in-plane length measurements of MEMS microstructures using an optical interferometer

GB/T 34893-2017推荐性国家标准

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更新时间 2026-10-25
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