微机电系统(MEMS)技术 层状MEMS材料界面黏附能四点弯曲试验方法

Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—Four-point bending test method for interfacial adhesion energy of layered MEMS materials

GB/T 44514-2024推荐性国家标准

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更新时间 2026-10-25
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