硅基MEMS制造技术 版图设计基本规则

Silicon-based MEMS fabrication technology - The basic regulation of layout design

GB/T 28274-2012 推荐性国家标准

现行

GB/T 28274-2012 相似标准 第12页

更新时间 2026-10-25
标准号 标准名称 状态 实施日期 相似标准
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