硅基MEMS制造技术 版图设计基本规则

Silicon-based MEMS fabrication technology - The basic regulation of layout design

GB/T 28274-2012推荐性国家标准

现行

GB/T 28274-2012 相似标准 第2页

更新时间 2026-10-25
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T/FSI 051-20201,2-二(三氯硅基)乙烷现行2020-05-30——
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GB/T 48046-2026熔模精密铸造硅基陶瓷型芯即将实施2027-02-01找相似
T/FSI 051-20201,2-二(三氯硅基)乙烷现行2020-05-30——
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GB/T 47073-2026表面化学分析 深度剖析 中能离子散射术对硅基底上纳米尺度重金属氧化物薄膜的无损深度剖析即将实施2026-08-01找相似
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T/CSPSTC 58-2020盾构机制造企业绿色供应链 基本要求现行2020-12-15——
GB/T 4863-2008机械制造工艺基本术语现行2009-02-01找相似
HJ/T 190-2006清洁生产标准 基本化学原料制造业 (环氧乙烷/乙二醇)现行2006-10-01找相似