| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| T/DLSHXH 005-2020 | 电子工业用气体 溶解乙炔 | 现行 | 2020-09-30 | 2020-10-30 |
| T/DLSHXH 004-2020 | 电子工业用气体 二氧化碳 | 现行 | 2020-09-30 | 2020-10-30 |
| T/DLSHXH 002-2018 | 电子工业用气体 一氧化氮 | 现行 | 2018-09-18 | 2018-09-28 |
| GB/T 32386-2026 | 电子气体 六氟化钨 | 即将实施 | 2026-04-30 | 2026-11-01 |
| GB/T 31987-2026 | 电子气体 锗烷 | 即将实施 | 2026-04-30 | 2026-11-01 |
| GB/T 31986-2026 | 电子气体 八氟丙烷 | 即将实施 | 2026-04-30 | 2026-11-01 |
| GB/T 31058-2026 | 电子气体 四氟化硅 | 即将实施 | 2026-04-30 | 2026-11-01 |
| GB/T 14602-2014 | 电子工业用气体 氯化氢 | 废止 | 2014-12-22 | 2015-07-01 |
| GB/T 18994-2014 | 电子工业用气体 高纯氯 | 废止 | 2014-12-22 | 2015-07-01 |
| GB/T 14603-2009 | 电子工业用气体 三氟化硼 | 废止 | 2009-10-30 | 2010-05-01 |
| GB/T 14604-2009 | 电子工业用气体 氧 | 废止 | 2009-10-30 | 2010-05-01 |
| GB/T 16942-2009 | 电子工业用气体 氢 | 废止 | 2009-10-30 | 2010-05-01 |
| GB/T 16943-2009 | 电子工业用气体 氦 | 废止 | 2009-10-30 | 2010-05-01 |
| GB/T 16944-2009 | 电子工业用气体 氮 | 废止 | 2009-10-30 | 2010-05-01 |
| GB/T 16945-2009 | 电子工业用气体 氩 | 废止 | 2009-10-30 | 2010-05-01 |
| SJ/T 11517-2015 | 电子工业用气体 一氧化碳 | 废止 | 2015-04-30 | 2015-10-01 |
| GB/T 21287-2007 | 电子工业用气体 三氟化氮 | 废止 | 2007-12-14 | 2008-07-01 |
| GB/T 5170.11-2008 | 电工电子产品环境试验设备检验方法 腐蚀气体试验设备 | 废止 | 2008-06-16 | 2009-03-01 |