微机电系统(MEMS)技术 传感器用MEMS压电薄膜的环境试验方法

Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—Environmental test methods of MEMS piezoelectric thin films for sensor application

GB/T 44513-2024推荐性国家标准

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更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态发布日期实施日期
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