洁净室及相关受控环境 第12部分:监测空气中纳米粒子浓度的技术要求

Cleanrooms and associated controlled environments—Part 12: Specifications for monitoring of air cleanliness by nanoscale particle concentration

GB/T 25915.12-2021 推荐性国家标准

现行

GB/T 25915.12-2021 相似标准 第9页

更新时间 2026-10-25
标准号 标准名称 状态 实施日期 相似标准
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