确定晶片坐标系规范

Specification for establishing a wafer coordinate system

GB/T 16596-2019推荐性国家标准

现行

上传时间:2026-02-27
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GB/T 16596-2019 相似标准 第12页

更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态发布日期实施日期
GB/Z 6113.401-2018无线电骚扰和抗扰度测量设备和测量方法规范 第4-1部分:不确定度、统计学和限值建模 标准化EMC试验的不确定度现行2018-03-15
GB/Z 6113.404-2023无线电骚扰和抗扰度测量设备和测量方法规范 第4-4部分:不确定度、统计学和限值建模 投诉的统计和保护无线电业务的限值计算模型现行2023-11-27
GB/T 39643-2020产品几何技术规范(GPS) 长度测量中温度影响引入的系统误差和测量不确定度来源现行2020-12-142021-07-01
GB/T 43916-2024真空技术 真空计 电容薄膜真空计的规范、校准和测量不确定度现行2024-04-252024-04-25
GB/T 18779.5-2020产品几何技术规范(GPS) 工件与测量设备的测量检验 第5部分:指示式测量仪器的检验不确定度现行2020-12-142021-07-01
GB/T 6113.402-2022无线电骚扰和抗扰度测量设备和测量方法规范 第4-2部分:不确定度、统计学和限值建模 测量设备和设施的不确定度现行2022-12-302023-07-01
DB61/T 1801-2023水工隧洞外水压力确定与应对技术规范现行2023-12-282024-01-28
GB/T 34879-2017产品几何技术规范(GPS) 光学共焦显微镜计量特性及测量不确定度评定导则现行2017-11-012018-05-01
GB/Z 6113.403-2020无线电骚扰和抗扰度测量设备和测量方法规范 第4-3部分:不确定度、统计学和限值建模 批量产品的EMC符合性确定的统计考虑现行2020-11-19
GB/T 45856-2025真空技术 真空计 皮拉尼真空计的规范、校准和测量不确定度现行2025-08-012025-11-01
GB/T 46081-2025真空技术 真空计 磁悬浮转子真空计的规范、校准和测量不确定度现行2025-08-292025-08-29
GB/T 1.2-2002标准化工作导则 第2部分:标准中规范性技术要素内容的确定方法废止2002-06-202003-01-01
GB/T 18779.2-2004产品几何量技术规范(GPS) 工件与测量设备的测量检验 第2部分:测量设备校准和产品检验中GPS测量的不确定度评定指南废止2004-11-112005-07-01
GB/T 6113.402-2006无线电骚扰和抗扰度测量设备和测量方法规范 第4-2部分:不确定度、统计学和限值建模 测量设备和设施的不确定度废止2006-03-062006-11-01
GB/Z 6113.404-2007无线电骚扰和抗扰度测量设备和测量方法规范 第4-4部分:不确定度、统计学和限值建模 抱怨的统计和限值的计算模型废止2007-09-05
GB/T 18779.3-2009产品几何技术规范(GPS) 工件与测量设备的测量检验 第3部分:关于对测量不确定度的表述达成共识的指南废止2009-03-162009-11-01
GB/Z 6113.405-2010无线电骚扰和抗扰度测量设备和测量方法规范 第4-5部分:不确定度、统计学和限值建模替换试验方法的使用条件废止2010-12-23
GB/T 6113.402-2018无线电骚扰和抗扰度测量设备和测量方法规范 第4-2部分: 不确定度、统计学和限值建模 测量设备和设施的不确定度废止2018-03-152018-10-01