| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| GB/T 15909-2017 | 电子工业用气体硅烷 | 现行 | 2017-05-31 | 2017-12-01 |
| GB/T 15909-2009 | 电子工业用气体硅烷(SiH4) | 废止 | 2009-10-30 | 2010-05-01 |
| HG/T 5895-2022 | 工业用混合气体硅烷/氮气 | 现行 | 2022-09-30 | 2023-04-01 |
| GB/T 38866-2020 | 电子工业用二氯硅烷 | 现行 | 2020-07-21 | 2021-02-01 |
| GB/T 37185-2018 | 气体分析 室内挥发性有害有机物的测定 “SUMMA罐-硅烷化管”采样气相色谱/质谱联用（GC/MS）法 | 现行 | 2018-12-28 | 2019-11-01 |
| GB/T 42720-2023 | 电子特气 六氯乙硅烷 | 现行 | 2023-08-06 | 2024-03-01 |
| GB/T 46699-2025 | 电子级四甲基硅烷 | 即将实施 | 2025-10-31 | 2026-05-01 |
| T/DLSHXH 008-2022 | 电子特气 双（二乙基氨基）硅烷 | 现行 | 2022-09-30 | 2022-10-20 |
| SJ/T 12052-2025 | 电子级乙硅烷 | 即将实施 | 2025-12-19 | 2026-07-01 |
| GB/T 30302-2013 | 工业用苯基三氯硅烷 | 现行 | 2013-12-31 | 2014-08-01 |
| GB/T 30304-2013 | 工业用甲基苯基二氯硅烷 | 现行 | 2013-12-31 | 2014-08-01 |
| HG/T 5153-2017 | 工业用苯基三甲氧基硅烷 | 现行 | 2017-07-07 | 2018-01-01 |
| HG/T 5393-2018 | 工业用三甲基一氯硅烷 | 现行 | 2018-10-22 | 2019-04-01 |
| HG/T 5154-2017 | 工业用甲基苯基二甲氧基硅烷 | 现行 | 2017-07-07 | 2018-01-01 |
| GB/T 35498-2017 | 工业用乙烯基三氯硅烷 | 现行 | 2017-12-29 | 2018-04-01 |
| GB/T 35501-2017 | 工业用甲基三甲氧基硅烷 | 现行 | 2017-12-29 | 2018-07-01 |
| GB/T 33074-2016 | 工业用甲基三丁酮肟基硅烷 | 现行 | 2016-10-13 | 2017-05-01 |
| GB/T 23953-2025 | 工业用二甲基二氯硅烷 | 现行 | 2025-06-30 | 2026-01-01 |