Vacuum technology—Vacuum gauges—Evaluation of the uncertainties of results of calibrations by direct comparison with a reference gauge
现行
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| GB/T 34876-2017 | 真空技术真空计 与标准真空计直接比较校准结果的不确定度评定 | 现行 | 2017-11-01 | 2018-05-01 |
| GB/T 34873-2017 | 真空计 与标准真空计直接比较校准 | 现行 | 2017-11-01 | 2018-05-01 |
| JB/T 10074-2004 | 电阻真空计 技术条件 | 现行 | 2004-03-12 | 2004-08-01 |
| JB/T 10553-2006 | 真空技术 扩散硅压阻真空计 | 现行 | 2006-05-06 | 2006-10-01 |
| GB/Z 42625-2023 | 真空技术真空计 用于分压力测量的四极质谱仪特性 | 现行 | 2023-05-23 | |
| GB/Z 42624-2023 | 真空技术真空计 放气率的测试和报告程序 | 现行 | 2023-05-23 | |
| GB/T 43916-2024 | 真空技术真空计 电容薄膜真空计的规范、校准和测量不确定度 | 现行 | 2024-04-25 | 2024-04-25 |
| GB/T 42604-2023 | 真空技术真空计 热阴极电离真空计规范 | 现行 | 2023-05-23 | 2023-05-23 |
| GB/T 45856-2025 | 真空技术真空计 皮拉尼真空计的规范、校准和测量不确定度 | 现行 | 2025-08-01 | 2025-11-01 |
| GB/T 46081-2025 | 真空技术真空计 磁悬浮转子真空计的规范、校准和测量不确定度 | 现行 | 2025-08-29 | 2025-08-29 |
| GB/T 30434-2013 | 电阻真空计通用技术条件 | 现行 | 2013-12-31 | 2014-08-01 |
| JB/T 7463-1994 | 热阴极电离真空计技术条件 | 废止 | 1994-09-08 | 1995-07-01 |
| JB/T 6873-1993 | 热偶真空计 技术条件 | 废止 | 1993-07-09 | 1994-01-01 |
| JB/T 6873-2005 | 热偶真空计 | 现行 | 2005-05-18 | 2005-11-01 |
| JB/T 7463-2005 | 热阴极电离真空计 | 现行 | 2005-05-18 | 2005-11-01 |
| JB/T 10075-2013 | 冷阴极电离真空计 | 现行 | 2013-12-31 | 2014-07-01 |
| GB/T 40333-2021 | 真空计 四极质谱仪的定义与规范 | 现行 | 2021-05-21 | 2021-12-01 |
| T/GVS 005-2022 (2) | 半导体装备用绝压电容薄膜真空计比对法测试规范 | 现行 | 2022-03-28 | 2022-03-28 |