硅片平坦表面的表面粗糙度测量方法

Test method for measuring surface roughness on planar surfaces of silicon wafer

GB/T 29505-2013推荐性国家标准

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GB/T 29505-2013 相似标准 第12页

更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态发布日期实施日期
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T/GDAQI 102-2023筛查用红外人体表面温度测量仪现行2023-03-012023-03-01
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GB/T 15879.620-2026半导体器件的机械标准化 第6-20部分:表面安装半导体器件封装外形图绘制的一般规则 小外形J形引线封装(SOJ)尺寸测量方法即将实施2026-07-302027-02-01
GB/T 15879.603-2026半导体器件的机械标准化 第6-3部分:表面安装半导体器件封装外形图绘制的一般规则 四边扁平封装(QFP)的尺寸测量方法即将实施2026-07-302027-02-01
GB/T 30118-2026声表面波(SAW)器件用单晶晶片 规范与测量方法即将实施2026-08-282027-03-01
GB/T 29036-2012不锈钢表面氧化着色 技术规范和试验方法现行2012-12-312013-10-01
GB/T 22462-2008钢表面纳米、亚微米尺度薄膜 元素深度分布的定量测定 辉光放电原子发射光谱法现行2008-10-302009-06-01