| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| GB/T 42720-2023 | 电子特气 六氯乙硅烷 | 现行 | 2023-08-06 | 2024-03-01 |
| T/DLSHXH 008-2022 | 电子特气 双（二乙基氨基）硅烷 | 现行 | 2022-09-30 | 2022-10-20 |
| GB/T 40418-2021 | 电子特气 氟甲烷 | 现行 | 2021-08-20 | 2022-03-01 |
| GB/T 21287-2021 | 电子特气 三氟化氮 | 现行 | 2021-10-11 | 2022-05-01 |
| GB/T 14851-2025 | 电子特气 磷化氢 | 现行 | 2025-03-28 | 2025-10-01 |
| GB/T 40417-2021 | 电子特气 六氟丁二烯 | 现行 | 2021-08-20 | 2022-03-01 |
| GB/T 42721-2023 | 电子特气 一氧化氮 | 现行 | 2023-08-06 | 2024-03-01 |
| GB/T 14601-2025 | 电子特气 氨 | 现行 | 2025-03-28 | 2025-10-01 |
| GB/T 17874-2021 | 电子特气 三氯化硼 | 废止 | 2021-10-11 | 2022-05-01 |
| DB13/T 5290-2020 | 电子特气气瓶更换操作规范 | 现行 | 2020-11-19 | 2020-12-19 |
| GB/T 15909-2017 | 电子工业用气体 硅烷 | 现行 | 2017-05-31 | 2017-12-01 |
| GB/T 38866-2020 | 电子工业用二氯硅烷 | 现行 | 2020-07-21 | 2021-02-01 |
| GB/T 46699-2025 | 电子级四甲基硅烷 | 即将实施 | 2025-10-31 | 2026-05-01 |
| GB/T 15909-2009 | 电子工业用气体 硅烷(SiH4) | 废止 | 2009-10-30 | 2010-05-01 |
| SJ/T 12052-2025 | 电子级乙硅烷 | 即将实施 | 2025-12-19 | 2026-07-01 |
| T/FSI 074-2021 | 二甲基乙烯基乙氧基硅烷 | 现行 | 2021-03-01 | 2021-04-01 |
| T/FSI 073-2021 | 二甲基二乙氧基硅烷 | 现行 | 2021-03-01 | 2021-04-01 |
| T/FSI 072-2021 | 二甲基二甲氧基硅烷 | 现行 | 2021-03-01 | 2021-04-01 |