微机电系统(MEMS)技术 微机电固态材料线性热膨胀系数测试方法

Micro-electromechanical system (MEMS) technology—Test method for coefficient of linear thermal expansion of micro-electromechanical solid-state material

GB/T 47749-2026推荐性国家标准

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更新时间 2026-10-25
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