微机电系统(MEMS)技术 柔性微机电器件循环弯曲变形后电气特性测试方法

Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—Test method of electrical characteristics after cyclic bending deformation for flexible micro-electromechanical devices

GB/T 47752-2026推荐性国家标准

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更新时间 2026-10-25
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