| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 实施日期 | 相似标准 |
|---|---|---|---|---|
| T/DLSHXH 004-2020 | 电子工业用气体 二氧化碳 | 现行 | 2020-10-30 | —— |
| T/DLSHXH 002-2018 | 电子工业用气体 一氧化氮 | 现行 | 2018-09-28 | —— |
| GB/T 18994-2014 | 电子工业用气体 高纯氯 | 废止 | 2015-07-01 | 找相似 |
| GB/T 14603-2009 | 电子工业用气体 三氟化硼 | 废止 | 2010-05-01 | 找相似 |
| GB/T 14604-2009 | 电子工业用气体 氧 | 废止 | 2010-05-01 | 找相似 |
| GB/T 16942-2009 | 电子工业用气体 氢 | 废止 | 2010-05-01 | 找相似 |
| GB/T 16943-2009 | 电子工业用气体 氦 | 废止 | 2010-05-01 | 找相似 |
| GB/T 16944-2009 | 电子工业用气体 氮 | 废止 | 2010-05-01 | 找相似 |
| GB/T 16945-2009 | 电子工业用气体 氩 | 废止 | 2010-05-01 | 找相似 |
| SJ/T 11517-2015 | 电子工业用气体 一氧化碳 | 废止 | 2015-10-01 | 找相似 |
| GB/T 21287-2007 | 电子工业用气体 三氟化氮 | 废止 | 2008-07-01 | 找相似 |
| GB/T 15909-2009 | 电子工业用气体 硅烷(SiH4) | 废止 | 2010-05-01 | 找相似 |
| GB/T 14851-2009 | 电子工业用气体 磷化氢 | 废止 | 2010-05-01 | 找相似 |
| GB/T 14601-2009 | 电子工业用气体 氨 | 废止 | 2010-05-01 | 找相似 |
| GB/T 14600-2009 | 电子工业用气体 氧化亚氮 | 废止 | 2010-05-01 | 找相似 |
| GB/T 26250-2010 | 电子工业用气体 砷化氢 | 废止 | 2011-05-01 | 找相似 |
| GB/T 18867-2014 | 电子工业用气体 六氟化硫 | 废止 | 2015-07-01 | 找相似 |
| T/DLSHXH 004-2020 | 电子工业用气体 二氧化碳 | 现行 | 2020-10-30 | —— |