微机电系统(MEMS)技术 微几何量评定总则(外文版EN)

Micro-electromechanical system technology - General rules for the assessment of micro-geometrical parameters

GB/T 26113-2010推荐性国家标准

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更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态发布日期实施日期
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GB/T 16656.42-1998工业自动化系统和集成 产品数据表达与交换 第42部分:集成通用资源:几何与拓扑表达废止1998-11-051999-06-01
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