微机电系统(MEMS)技术 微几何量评定总则(外文版EN)

Micro-electromechanical system technology - General rules for the assessment of micro-geometrical parameters

GB/T 26113-2010推荐性国家标准

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GB/T 26113-2010 相似标准 第9页

更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态发布日期实施日期
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GB/T 33523.604-2022产品几何技术规范(GPS) 表面结构 区域法 第604部分:非接触(相干扫描干涉)式仪器的标称特性现行2022-12-302023-04-01