微机电系统(MEMS)技术 MEMS磁场传感器技术规范

Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—Technical specification of MEMS magnetic field sensor

GB/T 47563-2026推荐性国家标准

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GB/T 47563-2026 相似标准 第9页

更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态发布日期实施日期
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JB/T 5537-1991半导体压力传感器技术条件废止1991-07-161992-07-01
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