| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| JC/T 2133-2012 | 半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法 | 现行 | 2012-12-28 | 2013-06-01 |
| T/GDACERCU 0016.2-2021 | 废酸综合利用技术规范 第2部分：再生抛光液 | 现行 | 2021-01-06 | 2021-01-06 |
| T/GDACERCU 0016.2-2021 | 废酸综合利用技术规范 第2部分：再生抛光液 | 现行 | 2021-01-06 | 2021-01-06 |
| XB/T 534-2026 | 稀土抛光液 | 即将实施 | 2026-07-15 | 2027-02-01 |