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微电子 第3页

更新日期 2026‑10‑18
标准号标准名称状态发布日期实施日期
GB/T 42709.29-2026半导体器件 微电子机械器件 第29部分：室温下悬空导电薄膜的机电松弛试验方法即将实施2026-08-282027-03-01