| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| GB/T 40418-2021 | 电子特气 氟甲烷 | 现行 | 2021-08-20 | 2022-03-01 |
| GB/T 42720-2023 | 电子特气 六氯乙硅烷 | 现行 | 2023-08-06 | 2024-03-01 |
| GB/T 21287-2021 | 电子特气 三氟化氮 | 现行 | 2021-10-11 | 2022-05-01 |
| GB/T 14851-2025 | 电子特气 磷化氢 | 现行 | 2025-03-28 | 2025-10-01 |
| GB/T 40417-2021 | 电子特气 六氟丁二烯 | 现行 | 2021-08-20 | 2022-03-01 |
| GB/T 42721-2023 | 电子特气 一氧化氮 | 现行 | 2023-08-06 | 2024-03-01 |
| GB/T 14601-2025 | 电子特气 氨 | 现行 | 2025-03-28 | 2025-10-01 |
| GB/T 17874-2021 | 电子特气 三氯化硼 | 废止 | 2021-10-11 | 2022-05-01 |
| DB13/T 5290-2020 | 电子特气气瓶更换操作规范 | 现行 | 2020-11-19 | 2020-12-19 |
| T/DLSHXH 008-2022 | 电子特气 双（二乙基氨基）硅烷 | 现行 | 2022-09-30 | 2022-10-20 |