| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| GB/T 38867-2020 | 电子工业用四氯化硅 | 现行 | 2020-07-21 | 2021-02-01 |
| YS/T 1195-2017 | 多晶硅副产品 四氯化硅 | 现行 | 2017-07-07 | 2018-01-01 |
| T/FSI 003-2016 | 气相二氧化硅生产用四氯化硅 | 现行 | 2017-04-10 | 2017-06-01 |
| DB63/T 1611-2017 | 光纤预制棒原料四氯化硅中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法 | 废止 | 2017-12-18 | 2018-03-01 |
| DB63/T 1610-2017 | 光纤预制棒原料四氯化硅 | 废止 | 2017-12-18 | 2018-03-01 |
| DB53/T 619-2014 | 气相色谱法测定四氯化硅及其次组分含量 | 废止 | 2014-08-28 | 2014-12-01 |
| T/CEMIA 014-2018 | 光纤预制棒用四氯化硅充装规范 | 现行 | 2018-12-28 | 2019-03-28 |
| T/CEMIA 015-2018 | 光纤预制棒用四氯化硅容器清洗技术规范 | 现行 | 2018-12-28 | 2019-03-28 |
| T/CEMIA 001-2017 | 光纤预制棒用四氯化硅 | 现行 | 2017-12-01 | 2018-03-01 |
| T/FSI 003-2016 | 气相二氧化硅生产用四氯化硅 | 现行 | 2017-04-10 | 2017-06-01 |
| HG/T 5745-2020 | 工业四氯化硅 | 现行 | 2020-12-09 | 2021-04-01 |
| T/CEMIA 001-2017 | 光纤预制棒用四氯化硅 | 现行 | 2017-12-01 | 2018-03-01 |
| T/CEMIA 015-2018 | 光纤预制棒用四氯化硅容器清洗技术规范 | 现行 | 2018-12-28 | 2019-03-28 |
| T/CEMIA 014-2018 | 光纤预制棒用四氯化硅充装规范 | 现行 | 2018-12-28 | 2019-03-28 |
| T/CNIA 0061-2020 | 硅外延用四氯化硅中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法 | 现行 | 2020-05-27 | 2020-08-01 |