微纳加工 基于激光诱导应变的大面积表面三维微纳结构加工方法

本标准规定了基于激光诱导应变的大面积表面三维微纳结构加工方法。本标准适用于在晶元级表面上，利用激光诱导调控多层膜体系的应变结构，设计并制备各种表面三维微纳结构。

表面微纳结构展现出许多独特的光电磁等特性，已在许多领域得到了广泛的应用。随着表面科学与工程技术的快速发展，人们对表面结构的复杂性、多级次性、大面积等提出了愈来愈高的要求，这对现有的常规微纳加工技术在成本、工艺、批量生产、精准设计和可控加工等方面提出了新的挑战。近年来，各种新的非常规加工方法不断被探索和发展以期满足这些新的挑战。基于激光诱导应变的加工方法具有可精确设计、可控大面积制造、可实现复杂多级次结构和大批量低成本制造等特点。本标准提供一种基于激光诱导应变的大面积表面三维微纳结构的加工方法的规范。本文件的发布机构提请注意，声明符合本文件时，可能涉及到纳米薄膜制备[7.2条]具体内容与专利号为ZL201010033715.9[一种超细晶金属或合金及其制备方法]内容相关的专利的使用。

国家纳米科学中心，南方科技大学