（10-1~10-7）Pa真空计现场校准规范

1.1 主题内容 本文件规定了封装电子材料在真空条件下放气率的检测用设备、计量特性、检测原理、检测步骤和检测结果的处理。 1.2 适用范围 本文件适用于固定流导法、对称结构流导法测量材料放气流量（对于能确定表面积的样品，检测项目为材料放气率），其中固定流导法测量范围为（1×10-5~ 1×10-8）Pa·m3/s，对称结构流导法的测量范围为（1×10-8~1×10-11）Pa·m3/s。

本规范适用于采用真空度现场校准装置对测量范围为（10-1~10-7）Pa内的真空计实现工作现场的校准和使用中检查。

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