颗粒技术 硅泥中硅颗粒回收工艺 规范 熔炼法

本文件界定了熔炼法回收多晶硅锭或单晶硅锭切片过程产生的硅泥中硅颗粒的术语、定 义；描述了回收原理；确立了回收流程；规定了回收产品质量、资源节约和环境保护的要求。 本文件适用于晶体硅切片过程产生的氧含量小于 10 wt%（除切割液外）硅泥的回收。

本文件界定了熔炼法回收多晶硅锭或单晶硅锭切片过程产生的硅泥中硅颗粒的术语、定义；描述了回收原理；确立了回收流程；规定了回收产品质量、资源节约和环境保护的要求。 本文件适用于晶体硅切片过程产生的氧含量小于 10 wt%（除切割液外）硅泥的回收。

中国科学院过程工程研究所、山田新材料集团有限公司、宁夏高创特能源科技有限公司、昆明理工大学、北方民族大学