二维材料厚度测量 原子力显微镜法

Thickness measurements of two-dimensional materialsAtomic forcemicroscopy (AFM)

T/CSTM 00003-2019科学研究和技术服务业

现行

标准状态

发布日期

2019-01-03

实施日期

2019-02-01

基础信息

标准号

T/CSTM 00003-2019

团体名称

中关村材料试验技术联盟

包含专利

标准分类

国际标准分类号

07.030

行业分类

M745 质检技术服务

标准层级

团体标准

主要技术内容

本标准规定了二维材料厚度测量 原子力显微镜法的原理、仪器设备、样品前处理、测试方法、厚度计算方法、测量结果的不确定度评定及测试报告。本标准适用于可以与基底形成台阶的二维材料厚度测量。

起草单位

中国计量科学研究院、北京市理化分析测试中心、广州特种承压设备检测研究院、布鲁克(北京)科技有限公司、江南石墨烯研究院、纳米技术及应用国家工程研究中心、上海交通大学分析测试中心、中国计量大学

起草人

卜天佳、任玲玲、姚雅萱、张梅、魏晓晓、尹宗杰、黎佩珊、仇登利、魏岳腾、董国材、张小敏、何丹农、张迎、陶兴付、李慧琴、吴琼、张晶晶

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