激光芯片自动划片裂片操作规程

T/SBX 021-2019制造业

现行

更新日期:2026-09-12

标准状态

发布日期

2019-11-25

实施日期

2019-12-15

基础信息

标准号

T/SBX 021-2019

团体名称

石家庄市标准化协会

包含专利

标准分类

中国标准分类号

L 51

国际标准分类号

31.260

行业分类

C398 电子元件及电子专用材料制造

标准层级

团体标准

主要技术内容

本规范规定了芯片划片工艺的人员、设备、材料、环境等条件的要求及工艺操作规程。本规范适用于划裂工艺。

起草单位

河北圣源光电股份有限公司、河北圣昊光电科技有限公司、深圳市盛世智能装备有限公司、华能左权煤电有限责任公司

起草人

杜海洋、苗惠霞、申卫、张智峰、杨勇峰、王昆、王明先

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