半导体设备用全氟醚橡胶密封制品

Perfluoro ether rubber sealing products for semiconductor equipment

T/CASME 1953-2025 制造业

现行

标准状态

发布日期

2025-03-21

实施日期

2025-04-21

基础信息

标准号

T/CASME 1953-2025

团体名称

中国中小商业企业协会

包含专利

否

标准分类

中国标准分类号

G 43

国际标准分类号

83.140.50 密封件

行业分类

C291 橡胶制品业

标准层级

团体标准

适用范围

本文件适用于工作温度范围为-45℃～320℃的半导体设备用全氟醚橡胶密封制品的制造、检验。

主要技术内容

本文件适用于工作温度范围为-45?℃～320?℃的半导体设备用全氟醚橡胶密封制品的制造、检验。

起草单位

江苏多肯新材料有限公司、安徽多肯创新科技有限公司、扬州曼特勒尔材料科技有限公司

起草人

刘韬、徐丹、刘雪莲

专题

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