光纤冷却氦气循环利用装置技术规范

本文件规定光纤冷却氦气循环利用装置的性能要求、工艺及技术要求、检验要求、供货文件、包装、储运。本文件适用于采用氦气膜分离纯化的光纤冷却氦气循环利用装置，纯化后氦气纯度≥99%。

安徽万瑞冷电科技有限公司、杭氧集团股份有限公司、中国工业气体工业协会、中国电子气体生产与利用百人会稀有气体分会、中国氦产业创新发展委员会。