超纯氨

Ultra pure ammonia

T/CCGA 30001-2019 制造业

现行

标准状态

发布日期

2019-10-29

实施日期

2020-01-29

基础信息

标准号

T/CCGA 30001-2019

团体名称

中国工业气体工业协会

包含专利

否

标准分类

中国标准分类号

G86

国际标准分类号

71.100.20 工业气体

行业分类

C266 专用化学产品制造

标准层级

团体标准

主要技术内容

本标准规定了超纯氨产品的技术要求，试验方法，检验规则，标志、包装、运输、贮存等。本标准适用于工业液氨通过吸附预纯化、精馏提纯、终端纯化生产的超纯氨产品。该产品是微电子氮化硅掩蔽膜的主要原材料，是半导体、光电子领域、发光二极管（LED）行业的重要原材料。

起草单位

苏州金宏气体股份有限公司、中国工业气体工业协会

起草人

金向华、许军州、洑春干、魏入铎、庄坤华、宋芳芳

专题

相似标准

标准号	标准名称	状态	发布日期	实施日期
T/CCGA 30002-2019	超纯氧化亚氮	现行	2019-10-29	2020-01-29
T/SZAS 10-2019	医学实验室管理标准	现行	2019-10-28	2019-11-25