超纯三氟化氮

Ultra pure nitrogen trifluoride

T/CCGA 30003-2019 制造业

现行

标准状态

发布日期

2019-10-29

实施日期

2020-01-29

基础信息

标准号

T/CCGA 30003-2019

团体名称

中国工业气体工业协会

包含专利

否

标准分类

国际标准分类号

71.100.20 工业气体

行业分类

C266 专用化学产品制造

标准层级

团体标准

主要技术内容

本标准规定了瓶装超纯三氟化氮的技术要求、试验方法、检验规则及包装、标志、运输、储存和安全。本标准适用于电解合成粗品三氟化氮，通过精馏提纯生产的超纯三氟化氮。它主要用作电子工业中等离子体工艺蚀刻剂和化学气相沉积的清洗剂。

起草单位

中国船舶重工集团公司第七一八研究所、中国工业气体工业协会

起草人

郑秋艳、李翔宇、洑春干、孟祥军、孙秋丽、袁瑞玲、胡帅、曹红梅、宋芳芳

专题

相似标准

标准号	标准名称	状态	发布日期	实施日期
T/CCGA 30004-2019	电子级八氟环丁烷	现行	2019-10-29	2020-01-29
T/CCGA 30002-2019	超纯氧化亚氮	现行	2019-10-29	2020-01-29