主要技术内容
本标准规定了半导体晶圆缺陷光学检测仪的术语和定义、产品型号、要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存要求。
下载电子版
正在请求下载信息...
Wafer defects Automatic optical inspection equipment
现行
2023-08-08
2023-08-09
T/CZSBDTHYXH 001-2023
常州市半导体行业协会
否
29.045
C356 电子和电工机械专用设备制造
团体标准
本标准规定了半导体晶圆缺陷光学检测仪的术语和定义、产品型号、要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存要求。
江苏维普光电科技有限公司、常州市半导体行业协会、国家半导体照明产品质量检验检测中心（江苏）（常州检验检测标准认证研究院）、常州工学院
刘建明、刘庄、张彦鹏、周佼、王宏才、郭魂、张鸣杰
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| T/ZZB 2060-2021 | 光学反射膜用聚对苯二甲酸乙二醇酯（PET）色母粒 | 现行 | 2021-03-01 | 2021-03-31 |
| T/CI 008-2021 | 海水光学叶绿素传感器 | 现行 | 2021-07-04 | 2021-07-04 |
| T/CATSI 09010-2021 | 光学真空腔体洁净度检测规范 | 现行 | 2021-08-25 | 2021-08-25 |
| T/ZZB 2281-2021 | 曲面有机发光二极管（OLED）屏幕用防指纹光学保护膜 | 现行 | 2021-08-26 | 2021-09-26 |
| T/ZZB 3704-2024 | 汽车前照灯用树脂光学透镜 | 现行 | 2024-06-11 | 2024-07-11 |
| T/GVS 017-2024 | 连续式光学磁控溅射镀膜设备 | 现行 | 2024-12-24 | 2024-12-24 |
| T/ZZB 3846-2024 | 光学级大单晶金刚石 | 现行 | 2024-11-18 | 2024-12-17 |
| GB 11417.3-2025 | 眼科光学 接触镜 第3部分：软性接触镜 | 即将实施 | 2025-10-31 | 2028-11-01 |
| GB/T 47086-2026 | 增强纤维和微纤维棉直径及其分布的测定 数字光学扫描仪法 | 即将实施 | 2026-01-28 | 2026-08-01 |
| GB/T 37946.1-2025 | 有机发光材料测试方法 第1部分：光学测试 | 即将实施 | 2025-10-31 | 2026-05-01 |
| GB/T 47121-2026 | 光学陀螺测角仪 | 即将实施 | 2026-01-28 | 2026-08-01 |
| GB/T 47243-2026 | 光学和光子学 光学元件 复杂曲面光学元件几何参数测试方法 | 即将实施 | 2026-02-27 | 2026-06-01 |
| GB/T 42257-2022 | 铬铒共掺钇钪镓石榴石晶体光学及激光性能测量方法 | 现行 | 2022-12-30 | 2023-04-01 |
| GB/T 35643-2017 | 光学遥感测绘卫星影像产品元数据 | 现行 | 2017-12-29 | 2018-07-01 |
| GB/T 41535-2022 | 气溶胶光学厚度遥感产品真实性检验 | 现行 | 2022-07-11 | 2023-02-01 |
| GB/T 44078-2024 | 光电系统中光学中心间距的测定 低相干干涉测量法 | 现行 | 2024-05-28 | 2024-12-01 |
| GB/T 38236-2019 | 航天光学遥感器实验室辐射定标方法 | 现行 | 2019-10-18 | 2020-05-01 |
| GB/T 43531-2023 | 多目拼接全景成像设备光学性能测试方法 | 现行 | 2023-12-28 | 2024-07-01 |
| GB/T 43590.501-2024 | 激光显示器件 第5-1 部分：激光前投影显示光学性能测试方法 | 现行 | 2024-03-15 | 2024-07-01 |
| GB/T 40279-2021 | 硅片表面薄膜厚度的测试 光学反射法 | 现行 | 2021-08-20 | 2022-03-01 |
| GB/T 11417.7-2012 | 眼科光学 接触镜 第7部分: 理化性能试验方法 | 现行 | 2012-12-31 | 2013-06-01 |
| GB/T 42976-2023 | 纳米技术 纳米光电显示 量子点光转换膜光学性能测试方法 | 现行 | 2023-09-07 | 2024-04-01 |
| GB/T 33396-2016 | 光学功能薄膜 三醋酸纤维素酯(TAC)膜 卤素含量测定方法 | 现行 | 2016-12-30 | 2017-07-01 |
| GB/T 41805-2022 | 光学元件表面疵病定量检测方法 显微散射暗场成像法 | 现行 | 2022-10-14 | 2023-05-01 |
| DB61/T 1687-2023 | 手机显示屏光学参数测量技术规范 | 现行 | 2023-05-25 | 2023-06-25 |
| T/CMA HG012-2023 | 315/70R22.5 154/150L标准测试轮胎技术规范 | 现行 | 2023-10-30 | 2023-10-30 |
| T/CNAEC 0205-2023 | 政府和社会资本合作（PPP）项目绩效评价工作导则 | 现行 | 2023-03-14 | 2023-07-01 |
正在请求下载信息...