主要技术内容
本标准规定了半导体晶圆缺陷光学检测仪的术语和定义、产品型号、要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存要求。
Wafer defects Automatic optical inspection equipment
现行
2023-08-08
2023-08-09
T/CZSBDTHYXH 001-2023
常州市半导体行业协会
否
29.045
C356 电子和电工机械专用设备制造
团体标准
本标准规定了半导体晶圆缺陷光学检测仪的术语和定义、产品型号、要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存要求。
江苏维普光电科技有限公司、常州市半导体行业协会、国家半导体照明产品质量检验检测中心（江苏）（常州检验检测标准认证研究院）、常州工学院
刘建明、刘庄、张彦鹏、周佼、王宏才、郭魂、张鸣杰
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| JB/T 8226.2-1999 | 光学零件镀膜 水解法镀双层减反射膜 | 现行 | 1999-08-06 | 2000-01-01 |
| GB/T 27582-2011 | 光学功能薄膜 等离子电视用电磁波屏蔽膜 屏蔽效能测定方法 | 现行 | 2011-12-05 | 2012-03-01 |
| T/CFNA 6508-2022 | 香辛料和调味料的光学指数测定 | 现行 | 2022-06-24 | 2022-06-30 |
| GB/T 22453-2025 | 激光用非线性光学晶体元件性能测量方法（外文版EN） | 现行 | 2025-12-09 | |
| GB/T 7896-2008 | 人造光学石英晶体试验方法 | 现行 | 2008-06-30 | 2009-04-01 |
| GB/Z 20648-2006 | 电子成像 擦除记录在一次写入光学介质上的信息的推荐方法 | 现行 | 2006-12-05 | |
| JB/T 8226.6-1999 | 光学零件镀膜 窄带干涉滤光膜 | 现行 | 1999-08-06 | 2000-01-01 |
| GB/T 16857.8-2022 | 产品几何技术规范（GPS） 坐标测量系统（CMS）的验收检测和复检检测 第8部分：使用光学距离传感器的坐标测量机 | 现行 | 2022-12-30 | 2023-04-01 |
| GB/T 16857.13-2025 | 产品几何技术规范(GPS) 坐标测量系统(CMS)的验收检测和复检检测 第13部分：光学三维坐标测量系统 | 现行 | 2025-05-30 | 2025-09-01 |
| GB/T 19735-2005 | 缩微摄影技术 16mm缩微胶片轮转式摄影机 机械与光学特性 | 现行 | 2005-04-19 | 2005-10-01 |
| GB/T 17341-1998 | 光学和光学仪器 焦度计 | 现行 | 1998-05-05 | 1998-12-01 |
| NB/SH/T 0902-2015 | 含沥青质重质燃料油正庚烷诱导相可分离性值的测定 光学扫描法 | 现行 | 2015-10-27 | 2016-03-01 |
| GB/T 33051-2016 | 光学功能薄膜 表面硬化薄膜 硬化层厚度测定方法 | 现行 | 2016-10-13 | 2017-05-01 |
| HG/T 6207-2023 | 光学功能薄膜 上置光学增光膜 | 现行 | 2023-12-20 | 2024-07-01 |
| GB/T 1224-2016 | 几何光学术语、符号 | 现行 | 2016-08-29 | 2017-03-01 |
| YB/T 077-2017 | 焦炭光学组织的测定方法 | 现行 | 2017-04-12 | 2017-10-01 |
| SJ/T 11544-2015 | 数字电视背投影显示器光学引擎技术要求及测量方法 | 现行 | 2015-10-10 | 2016-04-01 |
| GB/T 11297.12-2012 | 光学晶体消光比的测量方法 | 现行 | 2012-12-31 | 2013-06-01 |
| T/GVS 017-2024 | 连续式光学磁控溅射镀膜设备 | 现行 | 2024-12-24 | 2024-12-24 |
| SJ/T 11115-1997 | 光学标记阅读机通用规范 | 现行 | 1997-09-02 | 1998-01-01 |
| GB/T 45410.2-2025 | 光学和光子学 望远镜系统试验方法 第2部分：双筒望远镜 | 现行 | 2025-03-28 | 2025-10-01 |
| GB/T 29024.2-2025 | 粒度分析 单颗粒的光学测量方法 第2部分:光散射法液体颗粒计数器 | 现行 | 2025-06-30 | 2026-01-01 |
| JB/T 13361-2018 | 紫外、可见和近红外光学滤光片 | 现行 | 2018-04-30 | 2018-12-01 |
| QX/T 266-2015 | 气象卫星光学遥感器场地辐射校正星地同步观测规范 | 现行 | 2015-01-26 | 2015-05-01 |
| JB/T 9495.5-1999 | 光学晶体散射颗粒度测量方法 | 现行 | 1999-08-06 | 2000-01-01 |
| T/CMA HG012-2023 | 315/70R22.5 154/150L标准测试轮胎技术规范 | 现行 | 2023-10-30 | 2023-10-30 |