T/DLSHXH 007-2020 电子工业用气体氧硫化碳

标准状态

发布日期

2020-09-30

实施日期

2020-10-30

基础信息

标准号

T/DLSHXH 007-2020

团体名称

大连市石油和化工行业协会

包含专利

是

标准分类

国际标准分类号

71.100.20 工业气体

行业分类

C266 专用化学产品制造

标准层级

团体标准

主要技术内容

本标准规定了电子工业用气体氧硫化碳的技术要求、试验方法、检验规则及产品的标志、包装、贮运及安全要求。本标准适用于于以工业氧硫化碳为原料经纯化制备的电子工业用气体氧硫化碳。电子工业用气体氧硫化碳主要用于集成电路领域。分子式：COS。相对分子质量：60.07（按2011年国际相对原子质量）。

起草单位

大连科利德光电子材料有限公司、大连石油和化工行业协会

起草人

施旖旎、裴凯、石琳、毕聪智、王明月、孙瑞玉

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