主要技术内容
本文件规定了利用双晶X射线衍射仪测试氧化镓单晶片摇摆曲线及其半高宽的方法。本文件适用于熔体法及其他方法生长的和定向切割晶锭制备的氧化镓单晶片，对前述单晶片进行化学或机械抛光后的样品同样适用于此方法。本文件适用于β相氧化镓单晶。
Test method for full width at half maximum of double crystal X-ray rocking curve of Ga2O3 single crystal substrate
现行
2021-09-15
2021-09-22
T/IAWBS 015-2021
中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟
否
29.045
C398 电子元件及电子专用材料制造
团体标准
本文件规定了利用双晶X射线衍射仪测试氧化镓单晶片摇摆曲线及其半高宽的方法。 本文件适用于熔体法及其他方法生长的和定向切割晶锭制备的氧化镓单晶片，对前述单晶片进行化学或机械抛光后的样品同样适用于此方法。 本文件适用于β相氧化镓单晶。
本文件规定了利用双晶X射线衍射仪测试氧化镓单晶片摇摆曲线及其半高宽的方法。本文件适用于熔体法及其他方法生长的和定向切割晶锭制备的氧化镓单晶片，对前述单晶片进行化学或机械抛光后的样品同样适用于此方法。本文件适用于β相氧化镓单晶。
中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟，北京邮电大学，北京镓族科技有限公司
李培刚、郭道友、吴忠亮、陈旭、唐为华
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
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| SN/T 1504.5-2017 | 食品容器、包装用塑料原料 第5部分：聚烯烃中杂质元素含量的测定 X射线荧光光谱法 | 现行 | 2017-07-21 | 2018-03-01 |
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| WS 522-2017 | 乳腺数字X射线摄影系统质量控制检测规范 | 现行 | 2017-04-10 | 2017-10-01 |
| SN/T 2697-2010 | 进出口煤炭中硫、磷、砷和氯的测定 X射线荧光光谱法 | 现行 | 2010-11-01 | 2011-05-01 |
| WS/T 608-2018 | 口腔颌面部X射线检查操作规范 | 现行 | 2018-05-10 | 2018-11-01 |
| YY/T 0892-2013 | 医用诊断X射线管组件泄漏辐射测试方法 | 现行 | 2013-10-21 | 2014-10-01 |
| WS 519-2019 | X 射线计算机体层摄影装置质量控制检测规范 | 现行 | 2019-01-25 | 2019-07-01 |
| T/ZZB 0225-2017 | 16层X射线计算机体层摄影设备 | 现行 | 2017-09-22 | 2017-09-30 |
| GB 12664-2024 | 便携式X射线安全检查设备技术规范 | 现行 | 2024-08-23 | 2025-09-01 |
| DB3401/T 297-2023 | 射线装置 风险管理 | 现行 | 2023-12-15 | 2023-12-15 |
| YY/T 1708.2-2020 | 医用诊断X射线影像设备连通性符合性基本要求 第2部分：X射线计算机体层摄影设备 | 现行 | 2020-09-27 | 2021-09-01 |
| YY/T 0706-2017 | 乳腺X射线机专用技术条件 | 现行 | 2017-03-28 | 2018-04-01 |
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