硅基厚金属膜电镀工艺技术规范

本文件规定了硅基厚金属电镀工艺的加工能力 、保障条件 、材料 、安全与环境操作 、检验等技术要求 ,确立了硅基厚金属电镀工艺加工的程序 。本文件适用于硅基MEMS制造技术中厚金属膜多层布线的电镀加工 。

清华大学、东南大学、上海交通大学、启元实验室、中国航天科技集团公司九院704所、淄博高新技术产业开发区MEMS研究院、广州天极电子科技股份有限公司、深圳市联合蓝海应用材料科技股份有限公司、苏州厚朴传感科技有限公司、北京旺凡科技有限公司、北京高科中创科学技术中心