低维半导体材料生长 、表征及电子元器件制作流程规范

本文件规定了低维半导体材料生长 、表征及电子元器件制作的总则 、电子元器件制作流程 、检验与测试 。本文件适用于低维半导体材料生长 、表征及电子元器件制作流程 。

济南大学、北京理工大学、西安交通大学、江南大学、中国科学院半导体研究所、哈尔滨工业大学、哈尔滨工业大学(深圳)、厦门大学、贵州师范大学、陕西师范大学、苏州基元科技有限公司、中国有研科技集团有限公司、哈尔滨工业大学重庆研究院、苏州科技大学、上海交通大学、青岛亦有道农业科技有限公司,北京高科中创科学技术中心