主要技术内容
本文件描述了晶体硅光伏电池用卧式炉管可能产生的威胁人身安全、设备安全和产品安全的风险因素，规定了应采取的防护措施和设计要求。本文件适用于晶体硅光伏电池用扩散炉、氧化炉、退火炉、PECVD、LPCVD、PEALD等卧式炉管设备。
现行
2025-03-15
2025-03-30
T/CPIA 0106-2025
中国光伏行业协会
团体标准
本文件描述了晶体硅光伏电池用卧式炉管可能产生的威胁人身安全、设备安全和产品安全的风险因素，规定了应采取的防护措施和设计要求。本文件适用于晶体硅光伏电池用扩散炉、氧化炉、退火炉、PECVD、LPCVD、PEALD等卧式炉管设备。
北京北方华创微电子装备有限公司、湖南红太阳光电科技有限公司、英利能源发展有限公司、深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司、浙江润海新能源有限公司、江苏微导纳米科技股份有限公司
孙朋涛、刘树成、耿丹、闫海莲、郎芳、罗伟斌、连维飞、苏云姗
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
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