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晶体硅光伏电池用卧式炉管安全设计规范

T/CPIA 0106-2025其他标准预览

现行

更新日期：2026-07-12

标准状态

发布日期

2025-03-15

实施日期

2025-03-30

基础信息

标准号

T/CPIA 0106-2025

团体名称

中国光伏行业协会

标准分类

标准层级

团体标准

主要技术内容

本文件描述了晶体硅光伏电池用卧式炉管可能产生的威胁人身安全、设备安全和产品安全的风险因素，规定了应采取的防护措施和设计要求。本文件适用于晶体硅光伏电池用扩散炉、氧化炉、退火炉、PECVD、LPCVD、PEALD等卧式炉管设备。

起草单位

北京北方华创微电子装备有限公司、湖南红太阳光电科技有限公司、英利能源发展有限公司、深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司、浙江润海新能源有限公司、江苏微导纳米科技股份有限公司

起草人

孙朋涛、刘树成、耿丹、闫海莲、郎芳、罗伟斌、连维飞、苏云姗

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