再生水利用 电子级水水源水质

本文件规定了用于电子级水水源的再生水分级及水质、处理、安全和检测要求。本文件适用于作为电子级水水源的再生水，包括城镇污水处理厂出水、电子和半导体工业废水、显示面板工业废水经处理后满足相应要求的再生水。

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