电子薄膜用高纯钨及钨合金溅射靶材

YS/T 1025-2015 YS有色金属

现行

标准状态

发布日期

2015-04-30

实施日期

2015-10-01

基础信息

标准号

YS/T 1025-2015

批准发布部门

工业和信息化部

技术归口

全国有色金属标准化技术委员会

制修订

制定

标准分类

中国标准分类号

H63

国际标准分类号

77.150.99

行业分类

制造业

标准类别

产品标准

标准分类

有色金属

标准层级

行业标准

备案信息

备案号

50323-2015

备案日期

2015-07-08

适用范围

本标准适用于电子薄膜用高纯钨及钨合金溅射靶材,以下简称高纯钨及钨合金靶。

起草单位

宁波江丰电子材料股份有限公司、有研亿金新材料有限公司、北京天龙钨钼科技股份有限公司等

起草人

姚力军、王学泽、丁照崇等

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