二极管扩散片硼扩散液态源配方

Formula of boron diffusion liquid source fordiode diffuser

T/QDAS 070-2021其他标准

现行

更新日期:2026-09-12

标准状态

发布日期

2021-05-25

实施日期

2021-05-25

基础信息

标准号

T/QDAS 070-2021

团体名称

青岛市标准化协会

标准分类

标准层级

团体标准

主要技术内容

本文件规定了二极管扩散片硼扩散液态源配方的术语和定义、试剂和材料、仪器和设备、三氧化二硼/乙二醇乙醚溶液配制、硝酸铝/乙二醇乙醚溶液配制和硼扩散液态源配制等内容。本文件适用于二极管扩散片硼扩散液态源的配制。

起草单位

青岛金汇源电子有限公司、济南兰星电子有限公司、济南潼鑫电子有限公司

起草人

李德鹏、张光展、徐海涛、程文娟、李宜涛、李中亮

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