扩散炉能源消耗规范

SJ/T 11451-2022SJ电子

现行

标准状态

发布日期

2022-10-20

实施日期

2023-01-01

基础信息

标准号

SJ/T 11451-2022

批准发布部门

工业和信息化部

技术归口

中国电子技术标准化研究院

制修订

修订

标准分类

中国标准分类号

L97

国际标准分类号

27.01

标准类别

方法标准

标准分类

电子

标准层级

行业标准

备案信息

备案号

89619-2023

备案日期

2023-06-08

适用范围

适用于工作温度在400 ℃~1 350 ℃的扩散/氧化、退火、合金工艺使用的扩散炉

起草单位

北京北方华创微电子装备有限公司、中国电子技术标准化研究院、晶澳太阳能科技股份有限公司、株洲中车时代半导体有限公司、英利能源(中国)有限公司、北京赛西认证有限责任公司

起草人

李补忠、吴秀祥、孙朋涛、张颖、郝晓明、赵永猛、刘月雷、张红妹、张生春、李琳

SJ/T 11451-2022 相关专题

SJ/T 11451-2022 相似标准

标准号标准名称状态发布日期实施日期
GB/T 44440-2024保温材料 扩散法测定长期吸水率现行2024-08-232025-03-01
JB/T 10553-2006真空技术 扩散硅压阻真空计现行2006-05-062006-10-01
JB/T 9481-2020扩散硅力敏器件现行2020-12-092021-07-01
JB/T 10726-2007扩散硅式压力变送器现行2007-05-292007-11-01
GB/T 3965-2012熔敷金属中扩散氢测定方法现行2012-11-052013-03-01
GB/T 37098-2018创新方法知识扩散能力等级划分要求现行2018-12-282018-12-28
SJ/T 11880-2022发光二极管制造业绿色工厂评价要求现行2022-10-202023-01-01