扩散炉能源消耗规范

SJ/T 11451-2022 SJ电子

现行

标准状态

发布日期

2022-10-20

实施日期

2023-01-01

基础信息

标准号

SJ/T 11451-2022

批准发布部门

工业和信息化部

技术归口

中国电子技术标准化研究院

制修订

修订

标准分类

中国标准分类号

L97

国际标准分类号

27.01

标准类别

方法标准

标准分类

电子

标准层级

行业标准

备案信息

备案号

89619-2023

备案日期

2023-06-08

适用范围

适用于工作温度在400 ℃～1 350 ℃的扩散/氧化、退火、合金工艺使用的扩散炉

起草单位

北京北方华创微电子装备有限公司、中国电子技术标准化研究院、晶澳太阳能科技股份有限公司、株洲中车时代半导体有限公司、英利能源（中国）有限公司、北京赛西认证有限责任公司

起草人

李补忠、吴秀祥、孙朋涛、张颖、郝晓明、赵永猛、刘月雷、张红妹、张生春、李琳

专题

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