| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| SJ/T 11883-2022 | 扩散炉热平衡和热效率及综合能耗的计算方法 | 现行 | 2022-10-20 | 2023-01-01 |
| SJ/T 11451-2022 | 扩散炉能源消耗规范 | 现行 | 2022-10-20 | 2023-01-01 |
| T/CPIA 0108-2025 | 晶体硅光伏电池用卧式低压扩散炉 | 现行 | 2025-03-15 | 2025-03-30 |
| SJ/T 11451-2013 | 扩散炉能源消耗规范 | 废止 | 2013-10-17 | 2013-12-01 |
| JB/T 5630-1991 | 半导体器件扩散炉能耗分等 | 废止 | 1991-08-27 | 1992-07-01 |