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现行
2022-10-20
2023-01-01
SJ/T 11883-2022
工业和信息化部
中国电子技术标准化研究院
制定
L97
27.01
方法标准
电子
行业标准
89626-2023
2023-06-08
适用于扩散炉热平衡、热效率及综合能耗的计算。对于其他类型的电阻炉热平衡、热效率及综合能耗的计算可参考本文件
中国电子技术标准化研究院、北京北方华创微电子装备有限公司、北京赛西认证有限责任公司、深圳赛西信息技术有限公司、青海大学、中国科学院电工研究所
张生春、赵立华、程朝阳、吴秀祥、李梦辰、麻林瑞、李兴、冀晓洲、李春琦、杨立娜
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
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