管式扩散氧化退火炉安装规程

本文件规定了管式扩散氧化退火炉安装的术语和定义、基本要求、设备定位、安装石英管、安装炉口法兰和炉门、炉盖、安装炉尾法兰和炉门、安装石墨舟承托架、安装K型铠装热电偶、安装推舟及桨组件、加装管、安装桨、安装真空泵及真空管道、安装电源线缆、信号线缆及感应器的要求。本文件适用于生产太阳能电池硅片的管式扩散氧化退火炉的安装作业过程。

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