主要技术内容
本文件规定了基于基片弯曲法的薄膜应力测定的术语和定义、测量原理、测量仪器、试样要求、测量条件、参数的确定、测量、薄膜应力计算及试验报告。本文件适用于基于基片弯曲法的薄膜应力测定。
Determination of the film stress—Substrate curvature method
现行
2021-05-28
2021-06-01
T/SZMES 3-2021
深圳市机械工程学会
团体标准
本文件规定了基于基片弯曲法的薄膜应力测定的术语和定义、测量原理、测量仪器、试样要求、测量条件、参数的确定、测量、薄膜应力计算及试验报告。本文件适用于基于基片弯曲法的薄膜应力测定。
深圳职业技术学院、天津职业技术师范大学、深圳市速普仪器有限公司、深圳大学、深圳市机械工程学会、深圳领威科技有限公司、广东省标准化研究院
赵升升、廖强华、王红英、王铁钢、刘艳梅、张小波、杜建铭、章卫红、蔡恒志、梁舒洁、顾维鑫、汤悦荣
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
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| GB/T 36405-2018 | 平板玻璃应力检测方法 | 现行 | 2018-06-07 | 2019-05-01 |
| GB/T 22640-2023 | 铝合金应力腐蚀敏感性评价试验方法 | 现行 | 2023-05-23 | 2023-12-01 |
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| DL/T 1136-2022 | 钢弦式钢筋应力计 | 现行 | 2022-11-04 | 2023-05-04 |
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| GB/T 39519-2020 | 高应力液压件圆柱螺旋压缩弹簧 技术条件 | 现行 | 2020-11-19 | 2021-06-01 |
| GB/T 36407-2018 | 机械应力分级锯材 | 现行 | 2018-06-07 | 2019-01-01 |
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