主要技术内容
本文件规定了基于基片弯曲法的薄膜应力测定的术语和定义、测量原理、测量仪器、试样要求、测量条件、参数的确定、测量、薄膜应力计算及试验报告。本文件适用于基于基片弯曲法的薄膜应力测定。
Determination of the film stress—Substrate curvature method
现行
2021-05-28
2021-06-01
T/SZMES 3-2021
团体标准
本文件规定了基于基片弯曲法的薄膜应力测定的术语和定义、测量原理、测量仪器、试样要求、测量条件、参数的确定、测量、薄膜应力计算及试验报告。本文件适用于基于基片弯曲法的薄膜应力测定。
深圳职业技术学院、天津职业技术师范大学、深圳市速普仪器有限公司、深圳大学、深圳市机械工程学会、深圳领威科技有限公司、广东省标准化研究院
赵升升、廖强华、王红英、王铁钢、刘艳梅、张小波、杜建铭、章卫红、蔡恒志、梁舒洁、顾维鑫、汤悦荣
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| T/TAF 083-2021 | 移动终端融合快速充电技术规范 | 现行 | 2021-05-28 | 2021-05-28 |
| YB/T 6536-2026 | 钢材 残余应力 水声场调控法 | 即将实施 | 2026-07-15 | 2027-02-01 |
| YS/T 1872-2026 | 钛合金残余应力检测方法X 射线德拜环法 | 即将实施 | 2026-04-15 | 2026-11-01 |
| T/CECS G:D56-04-2023 | 骨架密实型应力吸收层技术规程 | 现行 | 2023-08-18 | 2024-01-01 |
| T/SEPA 5-2022 | 局部放电EFPI光纤超声传感器探头MEMS制造技术 第2部分：残余应力测定与调控规程 | 现行 | 2022-12-01 | 2023-02-01 |
| T/GDASE 0029-2021 | 起重机械金属结构应力测试技术规范 | 现行 | 2021-12-06 | 2021-12-26 |
| T/JMTX 006-2020 | 通用桥式起重机应力测试方法 | 现行 | 2020-03-20 | 2020-03-20 |
| GB/T 46717-2025 | 半导体器件 金属化空洞应力试验 | 即将实施 | 2025-10-31 | 2026-05-01 |
| SY/T 10030-2018 | 海上固定平台规划、设计和建造的推荐作法 工作应力设计法 | 现行 | 2018-10-29 | 2019-03-01 |
| WJ/T 743-2014 | 光学仪器用胶应力试验方法 | 现行 | 2014-05-06 | 2014-10-01 |
| JC 437-1991 | 自应力铁铝酸盐水泥 | 现行 | 1991-07-20 | 1992-06-01 |
| CJ/T 5029-1993 | 予应力用电动油泵 | 现行 | 1993-08-18 | 1994-03-01 |
| T/JMTX 006-2019 | 通用桥式起重机应力测试方法 | 现行 | 2019-05-29 | 2019-05-31 |
| T/JSJTQX 04-2019 | SBS改性沥青多应力蠕变恢复试验（MSCR）规程 | 现行 | 2019-07-29 | 2019-08-01 |
| T/JMTX 006-2020 | 通用桥式起重机应力测试方法 | 现行 | 2020-03-20 | 2020-03-20 |
| T/GRM 008-2020 | 采动应力场演化规律试验方法 | 现行 | 2020-12-31 | 2021-01-15 |
| T/CAGHP 009-2018 | 地质灾害应力应变监测技术规程 | 现行 | 2018-01-01 | 2018-04-01 |
| GB/T 15972.33-2024 | 光纤试验方法规范 第33部分：机械性能的测量方法和试验程序 应力腐蚀敏感性参数 | 现行 | 2024-11-28 | 2025-03-01 |
| GB/T 38036-2019 | 航天产品结构应力分析要求 | 现行 | 2019-10-18 | 2020-05-01 |
| GB/T 47988-2026 | 钢板残余应力磁各向异性检测方法 | 即将实施 | 2026-07-30 | 2027-02-01 |