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局部放电EFPI光纤超声传感器探头MEMS制造技术 第2部分：残余应力测定与调控规程

MEMS fabrication technology of EFPI fiber optic ultrasonic sensor probe for partial discharge detectionPart 2: measurement and regulation of residual stress

T/SEPA 5-2022电力、热力、燃气及水生产和供应业

现行

更新日期：2026-09-12

标准状态

发布日期

2022-12-01

实施日期

2023-02-01

基础信息

标准号

T/SEPA 5-2022

团体名称

上海市电力行业协会

包含专利

否

标准分类

中国标准分类号

K40

国际标准分类号

29.020

行业分类

D441 电力生产

标准层级

团体标准

适用范围

本文件规定了采用MEMS技术制作局部放电EFPI光纤超声传感器探头时SOI硅片敏感结构的残余应力测定与调控，包括残余应力的分类与来源、应力测定以及应力调控。 本文件适用于电力设备局部放电EFPI超声传感器探头SOI芯片的残余应力测定与调控。

主要技术内容

本文件规定了采用MEMS技术制作局部放电EFPI光纤超声传感器探头时SOI硅片敏感结构的残余应力测定与调控，包括残余应力的分类与来源、应力测定以及应力调控。本文件适用于电力设备局部放电EFPI超声传感器探头SOI芯片的残余应力测定与调控。

起草单位

国网上海市电力公司、西北工业大学、国网宁夏电力有限公司电力科学研究院、国网智能电网研究院有限公司、国网山西省电力公司、西安茂荣电力设备有限公司、华东电力试验研究院有限公司

起草人

虞益挺、司文荣、傅晨钊、鞠登峰、吴旭涛、黄辉、卢晶、陆启宇、赵莹莹、胡海敏、吴欣烨、聂鹏晨、陈川、李秀广、周秀、药炜、江安烽、施春波、殷展、周彦、崔浩、王邵菁

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