单晶硅棒磨倒一体机

本文件规定了单晶硅棒磨倒一体机的基本参数、规格和型号、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存及质量承诺。本文件适用于加工边距尺寸为156 mm～240 mm的单晶硅棒的磨倒一体机（以下简称“磨倒一体机”）。

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