正压悬浮区熔单晶硅炉

SJ/T 11853-2022 SJ电子

现行

标准状态

发布日期

2022-10-20

实施日期

2023-01-01

基础信息

标准号

SJ/T 11853-2022

批准发布部门

工业和信息化部

制修订

制定

标准分类

中国标准分类号

L97

国际标准分类号

31.22

标准类别

产品标准

标准分类

电子

标准层级

行业标准

备案信息

备案号

94255-2024

备案日期

2024-05-31

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