热喷涂旋转硅靶材通用技术条件

本标准规定了热喷涂旋转硅靶材的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本标准适用于以高纯硅粉为原料，添加微量物质后，采用等离子喷涂工艺，将硅粉喷涂于不锈钢衬管上的热喷涂旋转硅靶材。

福建阿石创新材料股份有限公司、福建省产品质量检验研究院、福建省测试技术研究所、福州允能光电有限公司、福州荣德光电有限公司。